cx系列电源为了满足在半导体工艺的高频驱动等离子系统的性能要求而设计的.应用领域包括:刻蚀、rie、平板、icp、射频溅射、cvd和pvd,同时也应用在感应和介质加热的工业领域. 特点: ● 全固态设计:体积小,长寿命低维护 ● “s”技术:解决了传输线长度受限制的问题,同时可提高抵抗由于等离子体阻抗波动带来的功率增益变化,从而提高电源的寿命和匹配网络的稳定性 ● 通过了多项国际安全认证(ce,etl,semi f47),使产品的安全性能得到保障 ● 本地控制面板通过4个软键和高精密编码器进行操作,高清晰兰色背光液晶显示屏,使得操作过程简单而舒适 ● 远程控制接口:标准rs232,数字/模拟控制接口,devicenet(可选) ● 多种安全保护技术:过温保护,失谐保护,过流保护,射频输出连接器互锁,控制信号保 护等 ● 控制电路确保了在高压驻波比条件下的可持续性 基本参数: l 功率控制 0~10vdc输入信号控制,产生0~大标定功率输出 l 功率控制线性 设置功率在大于额定功率10%的条件下≤2% l 频率 2~30mhz范围内的任何确定频率 l 频率的稳定性 13.56mhz±0.005%