inficon的冷阴极和皮拉尼的复合真空规mpg400和mpg401,测量范围从5x10-9毫巴至大气压(3.8 x10-9乇至大气压).将两种测量方式组合在一个具有对数模拟输出的小型单元内,大大地降低了安装,设置和集成的复杂性. 优点： 复合真空规—冷阴极与皮拉尼 宽的压强测量范围从5x10-9毫巴至大气压 无可烧毁的灯丝 的引燃功能 易清洗 fpm或金属密封的馈入件 高压加上时led指示灯亮 对数模拟输出讯号 应用： 高真空压强监测 蒸发和溅射系统的压强测量 一般真空测量和控制，从中至高真空范围 测量范围 (空气, n2) 毫巴(乇) 5 x 10-9… 1000 (3.8 x 10-9… 760) 精度 (n2) 1 x 10-8… 100毫巴 %读值 ≈±30% 重复性1 x 10-8… 100毫巴 %读值 ≈±5% 安装方向 任何 允许压强 巴() ≤10 (限于惰性气体) 允许温度 工作 (室温) 贮存 烘烤1) 灯丝温度 (皮拉尼) °c °c °c °c +5… +55 –40… +65 150 120 电源电压 在规管上 v dc +15… +30 在供电单元上, 大电缆长度2) v dc +16… +30 纹波 vpp ≤1 功耗 w ≤2 连接保险丝 at ≤1 输出讯号(测量讯号) 电压范围 v 0… +10.5 测量范围 v +1.82… +8.6 电压与压强的关系 对数, 0.6 v/量级 误差讯号 v <0.5 (无电源) v >9.5 (皮拉尼传感器, 灯丝断裂) 输出阻抗 ? 2 x 10 小负载阻抗 k? 10,短路保护 响应时间 p > 10-6毫巴 毫秒 <10 p = 10-8毫巴 毫秒 ≈1000 规管标识 k? 85,参考电源公共点 状态 仅皮拉尼模式 v 0 (低) 复合皮拉尼 / 冷阴极模式 v 15… 30 (高) 指示灯 led绿色 高压on 电气连接 fcc 68设备连接件, 8脚,凹型 传感器电缆 8芯,加屏蔽 电缆长度 米 ≤50 (8 x 0.14 毫米2) 工作电压 千伏 ≤3.3 工作电流 微安 ≤500 暴露于真空的材料 不锈钢, al2o3, fpm75, 不锈钢, al2o3, ag, cu, sn mo, ni, au, w mo, ni, au, w 内容积 厘米3 ≈20 重量 dn 25 iso-kf 克 ≈700≈730 dn 40 iso-kf 克 ≈720≈750 dn 40 cf-f 克 ≈980≈1010 保护级别 ip 40 标准 en 61000-6-2, en 61000-6-3, en 61010-1 加工定制 是 品牌 inficon 型号 mpg400 测量范围 5x10-7~100000（pa） 外形尺寸 50（mm） 重量 0.25（kg） 产品适用范围 蒸发和溅射系统的压强测量